Preparación y propiedades ópticas de películas multicapas ZrO2/Ag/ZrO2 depositadas por evaporación de haz de electrones

Abstract

En este trabajo se presenta la preparación de películas multicapas ZrO2/Ag/ZrO2 depositadas a temperatura ambiente sobre sustratos de vidrio comercial soda-lime por evaporación mediante haz de electrones, como candidatos para aplicaciones en espejos transparentes reflectantes de calor (THM). Las propiedades ópticas de transmitancia y reflectancia se investigaron en función de los espesores de la capas componentes de Ag y ZrO2, estos se variaron para lograr una alta transmitancia vi-sible y una reflectancia máxima en el NIR en los sistemas dieléctrico/metal/dieléctrico (D/M/D). La película multicapa ZrO2(45nm)/Ag(22nm)/ZrO2(45nm) optimizada presentó una alta transmitancia visible de 73% y alta reflectancia NIR 92% con una figura de mérito factor-Z máxima de 0,56 y una longitud de onda de corte λc de 807 nm mostrando la mejor selectividad espectral como recubrimiento THM.

This work presents the preparation of multilayer ZrO2/Ag/ZrO2 films deposited at room temperature on commercial glass substrates soda-lime by electron beam evaporation, as candidates for applications in transparent heat reflective mirrors (THM). The optical properties of transmittance and reflectance were investigated based on the thickness of the Ag and ZrO2 component layers, these were varied to achieve high visible transmittance and maximum reflectance at NIR in die-lectric/metal/dielectric systems (D/M/D). The optimized ZrO2(45nm)/Ag(22nm)/ZrO2(45nm) multilayer film had a high visible transmittance of 73% and a high NIR reflectance 92% with a maximum factor-Z figure of 0,56 and a cutoff wavelength λc of 807 nm presenting the best spectral selectivity as coating THM.